產(chǎn)品組合
Equipment Control System我們的設(shè)備產(chǎn)線包括包括Sorter、EFEM以及相關(guān)核心部件產(chǎn)品（SMIFPOD、Load port、翻轉(zhuǎn)機構(gòu)、Aligner等），Sorter & EFEM可根據(jù)客戶需求配置EAP及E84模塊，實現(xiàn)晶圓搬運的完全自動化。
我們的設(shè)備產(chǎn)線包括包括Sorter、EFEM以及相關(guān)核心部件產(chǎn)品（SMIFPOD、Load port、翻轉(zhuǎn)機構(gòu)、Aligner等），Sorter & EFEM可根據(jù)客戶需求配置EAP及E84模塊，實現(xiàn)晶圓搬運的完全自動化。
軟件功能豐富，可實現(xiàn)客戶的需求多樣化
SECS/GEM 傳輸指令，兼容多種通訊協(xié)議
人性化的操作維護界面，清晰明了
系統(tǒng)設(shè)計模塊塊，實現(xiàn)組件化，穩(wěn)定性高
豐富的用戶權(quán)限管理、全過程日志記錄
全面的安全防呆機制，保障機臺安全穩(wěn)定運行
EFEM參數(shù)：
1/2/3/4個LoadPort or SmifPod
適用150mm-300mm晶圓
Wafer厚度300~1000um，Warpage≤1mm
SCR雙臂機器人
超薄真空手臂or伯努利手臂or邊緣夾持手臂
真空or邊緣夾持Aligner
OCR（IOSS），高清讀取WaferID
配置E84模塊，支持天車取放料
RFID讀取
EFU & Ionizer
EAP對接，實現(xiàn)數(shù)據(jù)上傳
參數(shù)：
2/3/4個LoadPort設(shè)計
兼容200mm-300mm晶圓
Wafer厚度300~1000um，Warpage≤1mm
自動識別FOUP or Cassette
GTCR機器人
WPH可達到230片
陶瓷超薄真空或伯努利抓手（可定制）
真空Aligner
OCR（IOSS），高清讀取WaferID
配置E84模塊，支持天車取放料
RFID讀取
EFU & Ionizer
晶圓任意拆分
支持SECS/GEM廠務(wù)通訊
地址：無錫惠山經(jīng)濟開發(fā)區(qū)風電園創(chuàng)惠路5號八號樓第三層
電話：0510-85866818 轉(zhuǎn)0
郵箱：xinyun@luckysemi.net
關(guān)注微信公眾號
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