AMHS（Automatic Material Handling System）自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)，又名天車系統(tǒng)，是半導(dǎo)體生產(chǎn)線上進(jìn)行物料搬運(yùn)的軟硬件一體的設(shè)備和系統(tǒng)。AMHS產(chǎn)品組件包含傳送硬件設(shè)備（OHT、Lifter等）、存儲(chǔ)硬件設(shè)備（Foup&Reticle Stocker、Reticle Cabinet、NTB、OHCV、OHB）、凈化硬件設(shè)備（TLP、OPS、FPS等）和一體化軟件系統(tǒng)。
搬運(yùn)載具類型: FOUP，F(xiàn)OSB
VHL尺寸: L860xW460xH960mm
抓取質(zhì)量: 15Kg
直線速度: 3.5m/s
曲線速度: 0.9m/s
加速/減速:1.5m/s2/2m/s2
加載時(shí)間: EQ(1.8m): 16sec
吊裝長(zhǎng)度: 3.5m ( Foup )
軌道分歧/匯合方式: VHL自動(dòng)切換
轉(zhuǎn)向器工作時(shí)間: 0.5s
曲線半徑:500mm
潔凈度: CLASS100(F.S 209D)
振動(dòng)<0.5G
供電方式:非接觸供電系統(tǒng) ( CPS )
天車管理系統(tǒng)由MCS/OHTC系統(tǒng)等組成，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)物料快速、準(zhǔn)確對(duì)接到目標(biāo)生產(chǎn)設(shè)備和制程工藝設(shè)備，組成并實(shí)現(xiàn)一個(gè)智能化、高效率的半導(dǎo)體工廠，同時(shí)也確保了生產(chǎn)系統(tǒng)的信息安全。
地址：無錫惠山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)風(fēng)電園創(chuàng)惠路5號(hào)八號(hào)樓第三層
電話：0510-85866818 轉(zhuǎn)0
郵箱：xinyun@luckysemi.net
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